玻璃晶圓
福特科的玻璃晶圓：
* 高容量雙面拋光能力
* 大型鍍膜機，倒角可達1.8米
* 批量生產成本效益高
玻璃晶圓可應用于：
* 3D 成像和傳感
* 晶圓級封裝
* 封裝玻璃載體晶圓
* MEMS
* 微型顯示器
* 微流控技術
規(guī)格參數(shù)
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產品 |
窗口/晶圓 |
| 材質 | 熔融石英/光學玻璃/硅彩色玻璃濾光片 |
| 尺寸(mm) | 100mm/150mm/200mm/300mm |
| 厚度 最小厚度 (mm) | 0.2mm（100/150mm），0.3mm（200/300mm） |
| 厚度公差 (mm) | +/- 0.02mm (Commercial), +/- 0.002mm(Precision) |
| 表面質量 | 40-20 (Commercial), 10-5 (Precision) |
| 表面形狀或透射波前 |
≤ 0.1 waves PV (per 25.4mm @ 632.8nm） |
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